型号 | ZZ-1214 | ZZ-1416 | ZZ-1618 | ZZ-1820 |
真空室尺寸 | Φ 1200Χ1400mm | Φ 1400Χ1600mm | Φ 1600Χ1800 mm | Φ 1800Χ2000 mm |
制膜种类 |
半透明膜、不导电膜,金、银、红、蓝、绿、紫、七彩等 | |||
电源类型 |
电阻蒸发电源、离子轰击电源、射频电源 | |||
真空室结构 |
立式双开门、立式单开门、卧式单开门,后置抽气系统 | |||
极限真空 |
8.0Χ10-3pa | |||
真空系统 |
扩散泵 +罗茨泵+机械泵+维持泵 | |||
抽气时间 |
从大气抽至 5Χ10-2Pa小于或者等于6分钟 | |||
工件运动方式 |
公自转 /变频调速 | |||
控制方式 |
手动 /自动一体化式,触摸屏+PLC | |||
备注 |
真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做 |